蟠龍-LNY-20KG  CVD Technical Specifications

系統配置

1.尺寸 (長(cháng) x 寬 x 高)

單體 5550mm×2320mm×5310mm

包括

2.重量 (KG)

單體 8300Kg

3.電源

單體 88KW  380 VAC   180A

4.基礎系統功能及配置

微納顆粒氣相沉積包覆設備

基本功能

可在微納顆粒樣品上實(shí)現 氣相原子層沉積  膜層生長(cháng)工藝

樣品重量

克級別粉末，優(yōu)化工藝一般推薦 20kg 以?xún)?/span>

工藝溫度

工藝溫度范圍從室溫到 900°C

工藝配件

配備 氣相沉積包覆工藝套件，具有高溫密封和優(yōu)化氣流設計

5.特色

高溫反應腔體設計， 可自動(dòng)運行流化

包括

底部攪拌系統，實(shí)現工藝中粉體的均勻分散，易于清潔及操作， 保證工藝重復性

包括

最高工藝溫度 900 °C，為多膜系研發(fā)開(kāi)發(fā)設計

包括

有上下料罐設計，可以實(shí)現自動(dòng)連續的加工和實(shí)驗

包括

共 4 路氣體注入管道， 可以注入3種不同工藝氣體，有惰性氣體沖洗設計，可以避免危險氣體在管道內的殘留

包括

多道安全控制， 可編輯配方，完整的數據記錄和易于使用的 GUI 界面

包括

多種定制化選項

可選